Если Вас интересует цена, наличие, либо возможность получения скидки на Микроскоп Биоптик IM-500
Просим Вас обращаться по тел. +7 (343) 288-77-71 или отправить запрос на email: nt@ntso.ru
Микроскоп применяется для визуального контроля кристаллов полупроводниковых микросхем и полупроводниковых приборов, установленных в корпус, контроля качества сборки микросхем и полупроводниковых приборов (внутренний визуальный контроль). Имеет возможность наблюдения в поляризованном, флуоресцентном свете, применения ДИК. Увеличенное рабочее расстояние. Даже объективы больших увеличений с рабочим расстоянием не менее 3 мм.
Микроскоп часто применяется как арбитражный - для идентификации и классификации выявленных дефектов.
К таким микроскопам обычно предъявляются следующие требования:
- объективы со сверхдлинным рабочим расстоянием и увеличением от 2 до 1000 крат.
- методы контрастирования в отраженном свете: темное поле, поляризованный свет, флуорисценция,
дифферециально-итерференционный контраст.
- окуляр со встроенным микрометром.
- оснащение цифровой камерой.
- возможность создания изображений путем покадровой съемки и "сшивания" кадров в панорамы.
Особенности:
- «Прямой» тринокулярный тубус (дает прямое, а не перевернутое изображение, удобно для работы с крупными
подложками, которые необходимо регулярно перемещать)
- Возможность установки механического измерительного столика диапазоном перемещения 100х100 мм,
точностью измерений до 0,001 мм.
- Возможность установки моторизированного предметного столика с возможностью панорманого сканирования,
диапазоном перемещения 50х50мм или 100х100мм, скорость перемещения 0,05-0,2мм/с, точность
позиционирования 0,01 мм. Параллельность сканирования <10μм/100мм.
- возможность замены обчного механизма фокусировки на моторизированный механизм с автофокусом и
пультом дистанционного управления. Точность позиционирования <0,01 мм. Тип соединения с управляющей
станцией – USB. ПО для управления механизмом фокусировки с возможностью накопления стеков и последующей
процедуры стекинга (3Dсканирование).
- ДИК система для увеличений 10х,20x,50х (объектив и ДИК призма)
- Возможность установки компактного флуоресцентного модуля на базе LED 5W. Наборы светофильтров и дихроичных
зеркал под заказ. Производства OMEGA или CHROMA.
- Возможность установки модуля спектрофотометрии. Позволяет проводить фотометрирование образцов с
оптическим разрешением до 0,78 nm. Автоматическое определение координат цвета и координат цветности
различных объектов, создание банка данных различных объектов с автоматизацией поиска по цветовым
характеристикам, универсальный цветоанализатор, дающий возможность определять цветовые характеристики
различных микрообъектов и микроучастков макрообъектов. Диапазон чувтствительности монохроматора 200-1100nm.
Технические характеристики:
Оптическая система |
На бесконечность, рассчетная длина тубуса f=200mm |
|
Головка |
Тринокулярная, угол наклона 30°, вращаемая на 360° |
|
Окуляры |
EWF10x/26mm, WF10x/22mm с микрометром 0.1mm/Div |
|
Infinity LWD B/D |
5x/0.20 (W.D. 14.47mm) |
|
10x/0.25 (W.D. 16.0mm) |
||
20x/0.40 (W.D. 10.5mm) |
||
50x/0.55 (W.D. 5.1mm) |
||
Система фокусировки |
Моторизированная, шаговый двигатель, скорость перемещения 0.05mm/s - |
|
Револьверная |
Четырехгнездный, с портом для ДИК (DIC) |
|
Моторизированный |
вариант 100 |
вариант 50 |
Размер: 180x180mm |
||
Диапазон перемещения: |
Диапазон перемещения: 50X50mm |
|
Направляющие: роликовые |
||
Червяк: классный(толщина 1mm) |
||
Класс червяка: 2μm |
||
Максимальная скорость: 10mm/sec |
||
Точность репозиционирования: 2μm |
||
Точность позиционирования: 4μm |
||
Допуск на линейные искажения: 5μm |
||
Допуск на параллельность |
Допуск на параллельность: <10μm/50mm |
|
Система управления |
Тип контроллера: SCM |
Тип контроллера: FPGA |
Подключение: USB |
Подключение: PCI |
|
Тип двигателя: двухфазовый |
Тип двигателя: сервопривод |
|
Количесвто управляемых осей: три |
||
Перемещения: ручное или автоматическое |
||
Специализированное ПО |
||
Тип ПО - кастом |
Тип ПО: NC Programming |
|
Фильтры |
Голубой, зеленый, нейтральный |
|
Осветительная |
Отраженный свет (Epi), Kohler, галогенная лампа, 12V50W или 24V100W, |
|
Проходящий свет: галогенная лампа 24V100W или LED 5W, регулировка яркости |
||
Поляризация |
Анализатор вращаемый на 360°,поляризатор. Возможность полного удаления |
|
Адаптер камеры |
0.3x, 0.5х, 1х C-Mount |
|
Антивибрационное |
Мраморная плита |
|
Источник питания |
Универсальный AC 85-260V, |
|
Калибровка |
Объект-микрометр 0.01mm/Div |
Отзывы